山东力冠微电子装备有限公司

来源：人工晶体学报, 2022, Z1: 1801.

<正>山东力冠微电子装备有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的半导体工艺装备企业。图1 公司大楼公司集中业内科技人才致力于为广大客户提供产线、标准化产品、非标产品定制服务，与国内知名研究院所、航空航天单位、各大高校、各大企业等保持密切合作，产品被运用于重要科技攻关项目中， 为我国科技实力进步做出了积极贡献。目前公司主要产品有：HVPE、PVT、碳化硅籽晶粘结设备、MPCVD、晶体提拉炉、坩埚下降炉、SiC高温氧化炉、