针对可能影响制备二氧化钛薄膜物性的因素,通过以钛酸丁酯、乙酰丙酮、苯甲酰丙酮、无水乙醇作为原材料通过提拉法、旋涂法制备出二氧化钛感光薄膜。以点光源照射基底,得到三种不同花纹的微细图形,并做了SEM表征。定性分析了旋涂、提拉、实验式湿度、图形类型对于最后二氧化钛微细图形物性的影响。
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