基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计

作者：徐冬; 杨思远; 咸婉婷; 张宁; 李程达

来源：传感器与微系统, 2023, 42(03): 117-123.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0117-03

• 高温共烧陶瓷
• 线性可变差动变压器
• 位移传感器
• 敏感芯体

针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题，提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法。按0～20 mm的量程范围要求，对敏感芯体进行合理优化后，所制备的敏感芯体测量精度可在±1%FS之内与仿真结果相符合。该制备方法在提升耐高温性能的同时可保证测量精度，具有一定的实际应用前景。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所