针对压阻式微差压传感器在不同姿态位置下倾角误差大的问题，设计了符合灵敏度要求的4种量程的微差压传感器，结果发现，单岛膜结构在硅岛边缘形成了应力集中，双岛膜结构在两岛之间中心位置形成了应力集中，均有助于提高灵敏度。通过单隔离膜片微量充油封装设计减少对倾角误差的影响，结果表明，传感器零点输出与倾角角度近似线性关系。差压量程越小，倾角误差越大。其中，2 kPa时倾角误差不超过0.94%。本研究为微差压传感器设计及其倾角误差分析提供了依据。
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