管式镀膜自动化设备提升良品率的措施

作者：戎有兰

来源：山西电子技术, 2019, (03): 44-46.

• 自动化设备
• 吸盘印
• 划伤

硅片良品率的高低与客户的经济效益息息相关,单晶PERC管式镀膜自动化设备中影响良品率的因素主要有吸盘印和划伤。本文主要分析了其产生的原因,并通过有效的改进措施使良品率大幅提升,为客户节约了成本。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所