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摘要
GaAsPIN限幅器是置于通信接收前端抗电磁扰动的重要部件。本文对经受高功率微波后GaAsPIN限幅器损伤形貌的观察,结合其损伤机理分析,揭示了PIN二极管易于损伤的位置以及造成界面损伤的机理,对于GaAsPIN限幅器设计和工艺改进具有一定的指导意义。
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GaAsPIN限幅器是置于通信接收前端抗电磁扰动的重要部件。本文对经受高功率微波后GaAsPIN限幅器损伤形貌的观察,结合其损伤机理分析,揭示了PIN二极管易于损伤的位置以及造成界面损伤的机理,对于GaAsPIN限幅器设计和工艺改进具有一定的指导意义。
