中科院自动化所实现大口径光学元件表面微粒在线检测

来源：军民两用技术与产品, 2017, (21): 39.

DOI：10.19385/j.cnki.1009-8119.2017.21.075

• 大口径光学元件
• 在线检测
• 中国科学院自动化研究所
• 中科院

<正>中国科学院自动化研究所的研究人员设计出了新型紧凑检测仪,可用于快速检测大口径光学元件（LAOE）表面的微粒污染。该检测仪携带方便,可实现在线检测。当前,对于光学元件表面微粒的检测最基本的方法是肉眼观察,这种检测方式全凭工人的经验来判断微粒数量和大小,往往受主观因素影响。中科院自动化所的研究人员设计的LAOE表面微粒检测仪基于暗场成像系统,可在远工作距离的条件下,获得LAOE表面的高清图像。该检测

• 单位
  中国科学院