基于MEMS工艺的异性材料定向天线

作者：黄闯; 陈迪; 陈翔; 刘景全; 靖向萌; 朱军; 魏文婕; 魏泽勇; 李宏强

来源：传感技术学报, 2008, (3): 533-535.

DOI：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.043

• 天线
• MEMS
• 谐振腔
• 异性材料

制备了一种基于MEMS工艺的定向天线.以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积.这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送.本文中的天线厚度为1.5 mm,可工作于10 GHz频段.这使得其易于与微系统集成.文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程.

• 单位
  同济大学; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学