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摘要
本发明公开了一种基于有源相控阵天线散热的微流道散热器的设计方法,包括以下步骤：根据有源相控阵天线的工作频点、功放单元的结构和功率,确定功放单元的位置分布,将微流道散热器的设计和LTCC工艺要求结合,确定流道位置Df,流道厚度Hf和流道宽度Wf,得出不同结构的微流道模型；将不同结构的微流道模型和微流泵进行联合仿真,确定最佳的微流道模型；对最佳的微流道模型进行优化,确定散热层流道和调整层流道结构；添加金属通孔并进行散热仿真,然后对添加的金属通孔进行优化,直至满足芯片的散热要求。本发明得到的微流道散热器具有良好的散热性和均温性,可满足高热密度有源相控阵天线的散热需求。
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