一种深能级瞬态谱系统及其测试方法、应用

作者：陈少强; 丁效磊; 王酉杨; 贾贇; 胡小波; 翁国恩; 罗显佳

来源：2022-08-26, 中国, CN202211033303.4.

本发明公开了一种深能级瞬态谱测试系统。本测试系统基于ZurichInstrument研制的阻抗分析仪MFIA搭建,该系统略去了传统深能级瞬态谱测试系统中脉冲发生器部分,利用MFIA内置的脉冲发生模块产生DLTS测试中的反向偏置电压和正向填充电压。在深能级瞬态谱的测试时,夹具及线缆中存在的寄生电容会影响测量精度,因此对于样品夹具级线缆中存在的寄生电容加以补偿,提高了测试的准确性。在深能级瞬态谱的测试中,需要对样品进行温度扫描,通过调解PID算法调控Cryocon22C温控仪,对温度调控稳定性做出一定改进,提高温度扫描的准确性。相对于市面上的成套且价格不菲的DLTS系统,本发明所搭建的DLTS系统不仅满足了实验室样品的测试需求,同样大大减小了系统成本,具有较好的工程应用性。

• 单位
  华东师范大学