MEMS近红外光谱仪微镜驱动控制系统研发

作者：顾小杰; 王杰

来源：测控技术, 2018, 37(11): 129-133.

DOI：10.19708/j.ckjs.2018.11.029

• 扰动观测器
• 模型预测控制
• MEMS
• 微镜
• 近红外

针对微机电系统(MEMS)近红外光谱仪中MEMS微镜驱动系统的耦合与复杂扰动问题,提出了一种基于扰动观测器(DOB)与模型预测控制(MPC)的复合控制结构。通过分析MEMS微镜的驱动工作原理,建立MEMS微镜偏转角与驱动电压的传递函数模型,设计了MPC以消除系统耦合,通过分析系统扰动模型,设计了DOB实现对系统内部与外部扰动的集中监测。仿真研究与实验测试结果表明:基于DOB-MPC复合结构的MEMS微镜驱动控制系统,既可以有效抑制系统的外部扰动,又可以抑制由模型失配和变量耦合导致的内部扰动。

• 单位
  东南大学; 自动化学院