基于液滴外延法的Al(In)纳米结构在GaAs(001)的形成机制

作者：王一; 李志宏; 丁召; 杨晨; 罗子江; 王继红; 郭祥^*

来源：人工晶体学报, 2021, 50(12): 2225-2231.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20211110.006

• In&Al混合液滴
• GaAs
• 液滴外延
• 表面扩散
• 分子束外延
• 纳米结构

采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上同时沉积In、Al液滴形成纳米结构,利用原子力显微镜(AFM)对实验样品进行形貌表征,并通过X射线光电子能谱(XPS)与扫描电子显微镜分析In、Al组分比样品表面元素分布。实验结果显示,混合沉积后的表面InAlAs纳米结构密度随着In组分的降低而降低,而单个纳米结构的尺寸变大。SEM与XPS测试结果证明表面的In并没有因为衬底温度过高而全部偏析。根据实验结果推测,In&Al液滴同时沉积到表面形成InAl混合液滴。当液滴完全晶化后纳米结构中心出现孔洞,而产生这一现象的主要原因是液滴向下刻蚀。

• 单位
  贵州大学; 贵州财经大学