光纤MEMS低频声传感特性研究

作者：周达华; 宗思光; 蒋冰莉

来源：光电技术应用, 2012, (06): 51-54.

• 微机械电子系统(MEMS)
• 光纤
• 低频声传感器 micro-electromechanical system(MEMS)
• optical fiber
• low-frequency acoustic sensor

光纤微机械电子系统(MEMS)传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器,具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点。针对低频声场测量需要,研究了光纤MEMS测声理论,建立了法布里-珀罗(F-P)干涉测声的理论模型,设计并制作了光纤MEMS低频声传感器样品。实测表明,光纤MEMS性能可满足对4~5 000 Hz频段对声波的高灵敏测量。

• 单位
  中国人民解放军海军工程大学; 湖北省地震局