温度对(Pb0.97La0.02)(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电薄膜储能行为的影响

作者：耿文平; 乔骁骏; 穆继亮; 丑修建^*

来源：半导体技术, 2018, 43(11): 858-862.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.11.010

• 反铁电
• 饱和极化强度
• 能量存储
• 电滞回线
• 锆钛酸铅
• 电容器

反铁电薄膜因其利用反铁电-铁电相变实现高效能量存储(即高储能密度和高储能效率)成为目前国际上研究热点,然而对其储能行为随温度变化规律研究甚少。系统研究了锆钛酸铅基反铁电薄膜(Pb0. 97La0. 02)(Zr0. 95Ti0. 05) O3的制备和性能表征;测量了不同温度下薄膜的电滞回线,室温下薄膜饱和极化强度约为35. 37μC/cm2,随着温度的升高,饱和极化强度降低,同时薄膜从反铁电相依次相变为铁电相、顺电相;研究了反铁电薄膜有效储能密度及能量转换效率,室温下反铁电薄膜的有效储能密度约为7. 73 J/cm3,能量转换效率约为49%,随温度升高,有效储能密度降低而能量转换效率保持不变。

• 单位
  中北大学