对比α-氧化铝、氧化镁、硅粉三者的结晶属性,选择晶相良好且与温石棉特征峰无重叠的单质硅为内标物,建立温石棉衍射吸收标准曲线,该曲线在温石棉含量0%~9.3%具有较好的回归性。使用曲线分析已知温石棉含量的分析样品,测得温石棉含量为1.70%,与理论值(温石棉添加量:1.68%)的相对误差RE为0.99%。分析该方法检出限与定量限分别为0.10%和0.30%。与以金属基底建立曲线的石棉定量方法相比,内标法有较好灵敏度和准确度,是一种准确可靠的石棉定量方法。