多能场复合电沉积对Al2O3-Co复合薄膜物性影响研究

作者：岂云开; 杨淑敏; 李欣; 徐芹; 顾建军^*

来源：Acta Physica Sinica, 2022, 71(01): 290-298.

• 氧化铝复合薄膜
• 多能复合场
• 结构色

采用多能场复合微细电沉积加工技术,制备了微观结构渐变的多彩结构色磁性Al2O3-Co复合薄膜.在沉积电场和与之垂直的偏转电场作用下,复合薄膜的微观结构、光学特性和磁性沿偏转电场方向呈现渐变特征.通过建立微观结构等效模型,理论分析了复合薄膜微观结构变化机理.通过软件仿真定量分析了沿偏转电场方向Co离子沉积电流密度分布规律,仿真结果与理论研究和实验结果相吻合.研究发现,采用多能场复合的微细电沉积加工技术可以从微观角度调控复合薄膜微区结构,实现对薄膜微区磁学和光学特性的精细调控.

• 单位
  河北工业大学; 电子工程学院; 河北民族师范学院