为提高附壁效应真空发生器的最大真空度，设计一种偏转射流入射角度的新型斜射式附壁效应真空发生器。通过仿真与试验研究射流偏转角θ及射流缝隙宽度h对真空度的影响规律。结果表明：随着射流偏转角θ和射流缝隙宽度h由小变大，真空发生器真空度均呈先增大后减小的变化趋势；当射流偏转角θ=30°、射流缝隙宽度h=0.16 mm时，真空度最大；在供气压力为0.5 MPa时，斜射式附壁效应真空发生器的最大真空度为63.8 kPa,相较于目前的附壁效应真空发生器最大真空度52 kPa提高了约23%。
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