一种大幅面高精度显微测量光学平台

作者：黄建彬; 杨志军; 苏丽云; 彭皓

来源：2021-01-13, 中国, ZL202120085458.7.

本实用新型涉及测量器械技术领域,且公开了一种大幅面高精度显微测量光学平台,包括Z轴刚柔升降台组件和中空XY平台,且二者均固定在基板上；所述Z轴刚柔升降台组件包括Z轴刚柔升降台,所述Z轴刚柔升降台主要包括第一框架、第一柔性铰链和第一工作台三部分,且第一框架与第一工作台之间通过第一柔性铰链连接。该种大幅面高精度显微测量光学平台,采用柔性铰链弹性变形补偿摩擦死区,精度高,将摩擦力转换为弹性变形,可以实时量测补偿,采用高精度光栅反馈,精度不受滚珠丝杠磨损影响。