为了补偿AOI(Automatic Optical Inspection)机械运动偏差,提高检测程序中元件的定位精度,提出了基于多项式插值的元件坐标标定算法.首先,通过一组实验对检测程序中产生元件偏差的原因进行了定量分析.然后,建立了坐标标定模型,并提出了元件偏差补偿算法.即通过建立网格划分模型,并使用标定坐标来对运动偏差进行补偿,以网格为单位利用多项式插值逼近变形函数标定元件坐标.最后,通过在线编程实验,验证了算法的有效性,并综合比较得出了分段线性插值标定为最优标定算法.