摘要

本发明公开了一种基于离电式无线无源柔性压力传感器、制备及应用,包括,制备平面线圈和叉指电极一体化结构、制备介电层、离电式无线无源柔性压力传感器封装。通过制备得到包括介电层、平面线圈和叉指电极一体化结构以及透明柔性基底,封装获得离电式无线无源柔性压力传感器,通过传感器线圈与外部读取线圈的无线耦合实现数据的无线传输。本发明柔性压力传感器,实现压力的超高灵敏度无线检测,同时具有功耗低、结构简单等特点;介电层选用离子凝胶膜基于离电效应实现超高灵敏度的压力传感,在保持超高灵敏度的前提下增大了传感器的工作范围;同时介电层表面引入微结构,可以进一步提高传感器的灵敏度、响应时间等性能参数。