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摘要
本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的进料设备,包括进料筒、操作室和中转室,其中,所述的进料筒采用卧式柱体,前端设有进料门,侧面通过一出料门与操作室相通；所述的操作室为一密封的箱体,其正面上半部安装透明的有机玻璃,下半部安装一双与箱体密封,用于操作的长手套,其内安装有可转动的载物盘；所述的中转室为立式柱体,其与操作室和反应室之间设置有用于隔离的闸板阀。本实用新型进料设备具有独立、密封性优良的净化系统,满足各种基片的工艺需求。
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本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的进料设备,包括进料筒、操作室和中转室,其中,所述的进料筒采用卧式柱体,前端设有进料门,侧面通过一出料门与操作室相通；所述的操作室为一密封的箱体,其正面上半部安装透明的有机玻璃,下半部安装一双与箱体密封,用于操作的长手套,其内安装有可转动的载物盘；所述的中转室为立式柱体,其与操作室和反应室之间设置有用于隔离的闸板阀。本实用新型进料设备具有独立、密封性优良的净化系统,满足各种基片的工艺需求。
