从曲线形状的角度分析了形状参数β较大时,为何二参数Weibull分布不能正确反映击穿数据的概率分布。同时,阐述了数据数量对二参数和三参数Weibull分布的影响程度。实验发现,二参数Weibull分布在击穿数据分析中有一定的局限性,当拟合得到的形状参数β′较大时,为保证分析结果的可信度,应使用三参数Weibull分布计算。