多晶硅还原炉系统余热回收利用

作者：吴燕平

来源：山东化工, 2019, 48(21): 104-106.

DOI：10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2019.21.041

• 多晶硅
• 还原炉
• 节能能耗
• 余热回收利用

高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的夹套、底盘及尾气进行冷却,加热后的热水进行闪蒸,年产6000 t的多晶硅规模,通过热量回收能产生0.3 MPa(g)的低压蒸汽44.77 t/h。达到节能降耗的目的,从而降低多晶硅生产的成本,以提高行业的竞争能力。