基于弛豫铁电单晶的红外热释电探测器研究

作者：马学亮; 邵秀梅; 于月华; 李言谨

来源：光电子-激光, 2012, (03): 451-454.

DOI：10.16136/j.joel.2012.03.020

• 红外
• 热释电探测器
• 弛豫铁电单晶
• 非制冷 infrared
• pyroelectric detector
• relax-based ferroelectric single crystals
• uncooled

研究了新型热释电材料驰豫铁电单晶(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3(PMNT)的低损伤减薄工艺、电极成型和耦合封装等关键技术,研制了基于PMNT的单元热释电探测器。对减薄后约30μm晶片材料性能的测试分析表明,部分样品的热释电系数约为9.0×10-4 C/m2 K,无明显衰减。采用低噪声电路提取单元探测器的微弱热释电电流,对所研制的单元探测器性能进行了测试分析。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室