Al2O3薄膜的性能、制备与应用

作者：李学磊; 冯煜东; 王志民; 王艺; 赵慨; 王虎; 杨淼

来源：真空, 2016, 53(03): 16-21.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2016.03.04

• Al2O3薄膜
• 性能
• 制备方法
• 应用

概述了Al2O3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al2O3薄膜的多种制备方法,包括真空蒸发法、直流反应磁控溅射法、射频磁控溅射法、射频反应磁控溅射法、中频反应磁控溅射法、脉冲反应磁控溅射法、离子束辅助沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法,并综合比较了各种制备工艺的优缺点;最后阐述了Al2O3薄膜在机械涂层、光学领域、微电子领域的应用。

• 单位
  兰州空间技术物理研究所