半导体功率器件测试用热板校准方法研究

作者：兰赛; 刘云超; 吴双双

来源：计量与测试技术, 2023, 50(08): 76-81.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2023.8.023

• 热板
• 热台
• 功率器件测试
• 校准方法

半导体功率器件温度特性是评价器件性能的关键指标。热板或热台是半导体功率器件温度特性测试的重要设备，其温度性能关系着试验结果的准确与否。本文通过分析其工作原理和校准参数，结合热板的实际应用，提出了校准方法，并以实例证明该方法的可行性。

• 单位
  湖南省计量检测研究院