介质激光加速器是一种高梯度微纳结构的加速器，是未来加速器小型化的重要技术方向之一。本文提出了一种基于半导体激光器的介质激光加速器方案。在此种方案中，加速光栅位于谐振腔内部，省去了高功率激光耦合至加速光栅的外部光路，为介质激光加速器的级联提供了一种新的思路。文中着重研究了加速结构对谐振腔内部场分布的影响，给出了谐振腔场横向截面分布的仿真结果，阐述在该结构中采用高斯光束激励时电子束加速相位匹配的问题，研究了制备精度误差对场分布的影响，最后给出了对加工精度误差的最低要求。
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