太阳能硅片清洗剂的研究与配方设计

作者：王成信

来源：浙江化工, 2022, 53(08): 9-25.

• 硅片
• 清洗剂
• 复配
• 腐蚀
• 耐久性

太阳能硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重沾污，需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物，以符合洁净度和表面状态的要求。为了减少对硅片的过度腐蚀以及保持硅片清洗工作液的持久性，通过正交试验，确定了表面活性剂A组分和碱剂B组分的最佳配比。表面活性剂A组分的最佳配比为：乙二胺二邻苯基乙酸钠、PO嵌段FMEE、FMES、伯烷基磺酸钠（PAS）和烷基糖苷（APG）的质量比为7:8:3:5:3。碱剂B组分的最佳配比为：氢氧化钾、氢氧化钠、偏硅酸钠和碳酸钠的质量比为3:1:2:2。以A组分和B组分组成的硅片清洗剂环保、无磷、碱性适中，清洗时间短，对硅粉和金属氧化膜去除效果好，洗后的硅片表面光滑无凹坑、线痕等现象。