本发明公开了一种基于激光扫描的区域性退火处理金属氧化物薄膜的方法。本发明将金属氧化物薄膜进行激光扫描处理,实现退火；通过激光扫描的方式能够结合计算机辅助设计,灵活地选择薄膜样品的处理范围,避免了传统热退火工艺中对样品整体进行热退火的过程；激光扫描退火的方法操作简单,退火速度快,耗费时间短；通过准分子激光在薄膜样品上的扫描退火,使薄膜的结构形貌、电学特性和光学特性均得到改善。
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