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摘要
传统准分子激光器智能控制系统的性能受到控制精度的影响,以提高准分子激光器智能控制系统的性能为目的,提出了基于嵌入式技术的准分子激光器智能控制系统。在嵌入式技术的基础上,通过准分子激光器MCU主控模块设计、控制信号调理电路设计和准分子激光器控制电路设计,完成了系统的硬件设计,通过设计准分子激光器智能控制算法和设计准分子激光器智能控制程序,完成了系统的软件设计,实现了准分子激光器的智能控制,测试结果表明,基于嵌入式技术的准分子激光器智能控制系统在腔体气压、激光能量、闭环控制三个方面的性能都可以满足控制要求。
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