不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析

作者：卢宝文; 徐学科; 余祥; 范正修

来源：光学学报, 2010, (01): 283-286.

• 薄膜光学
• 银膜
• 沉积速率
• 结构分析 thin-film optics
• evaporated silver films
• deposition rate
• structure analysis

实验分别采用5种不同的沉积速率(0.44,0.30,0.18,0.08和0.04nm/s)制备了金属银薄膜,膜系结构为基底/Al2O3/Ag/Al2O3/Air。光谱测试结果表明,沉积速率0.18nm/s的样品具有最高的平均反射率。采用X射线衍射(XRD)仪分析了5个样品的X射线衍射谱。银膜择优取向(111)晶向,0.18nm/s的样品衍射峰强度最大、衍射峰半峰全宽最小、晶粒尺寸最大,说明此沉积速率下结晶程度最高。过快或者过慢的沉积速率会导致银膜结晶程度下降,从而导致平均消光系数增大和反射率下降。在实验条件下,银膜的最佳沉积速率在0.18nm/s附近,此时制备的银膜具备最好的结晶程度和最高的反...

• 单位
  中国科学院; 中国科学院大学; 中国科学院上海光学精密机械研究所