摘要

<正>1电容式传感器的原理由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器如图1所示.如果不考虑其边缘效应,则其电容量为C=(εS)/d.(1)式中,ε=ε_0ε_r为电容器极板间介质的介电常