1064 nm MOPA激光器非晶硅薄膜太阳能电池清边工艺研究

作者：李勇; 秦应雄^*

来源：应用激光, 2019, 39(02): 275-278.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20193902.275

• 非晶硅薄膜太阳能电池
• 激光清边
• 工艺参数

利用1 064 nm MOPA光纤激光器对非晶硅薄膜太阳能电池制备工序中的激光清边工序进行了实验研究,探讨了激光器脉冲宽度、填充线间距、扫描速度等工艺参数对加工效果的影响。在脉冲宽度100 ns,重复频率80 kHz,填充线间距35μm,输出功率比100%,扫描速度3 500 mm/s,光斑交叠比wx=0.83,wy=0.88的参数下,获得了清边区表面理想,电阻值>1 000 MΩ的良好清边效果。

• 单位
  武汉软件工程职业学院; 华中科技大学