硅外延片表面微缺陷分析方法研究

作者：李建德^*; 赵秀芳; 徐艳艳; 高丽荣; 蒋丽微; 舒敏娣

来源：广东化工, 2021, 48(22): 183.

• 外延片
• 硅外延片
• 腐蚀液
• 偏光金相显微镜
• 微缺陷

本文主要对硅外延片表面微缺陷分析方法进行研究,通过配置一定比例的重铬酸钾及氢氟酸腐蚀液,严格按照试验方法的操作步骤对硅外延片进行处理,采用偏光金相显微镜进行分析,可以清晰的看到硅外延片表面的微缺陷。

• 单位
  河南科技大学