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摘要
本发明公开了一种基于啁啾光纤光栅的光谱共焦位移传感器,是在光谱共焦位移传感器测量系统中对称设置第一啁啾光纤光栅和第二啁啾光纤光栅,光源发出的光信号经第一啁啾光纤光栅反射获得色散特性,具有色散特性的光信号经三端口环形器、针孔和聚焦透镜投向被测物,光信号中波长为λ的光满足共焦条件,在被测物表面形成聚焦,聚焦后的光信号沿原光路返回后被针孔接收,再经过第二啁啾光纤光栅反射后被光谱仪接收,最后根据波长换算成为对应的距离值,从而获得被测物位置的信息。系统中以聚焦透镜直接代替了结构复杂的色散物镜,实现了精密测量系统的小型化,并使测量系统具有较高的测量精度和分辨力。
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