一种磁控溅射法制备氮内嵌富勒烯的系统和方法

作者：高松; 凌坤; 周珅; 蒋尚达; 伍智荣; 刘正

来源：2021-09-28, 中国, ZL202111144491.3.

提供了一种磁控溅射法制备氮内嵌富勒烯的系统,包括真空反应腔体(101)、真空生成装置、富勒烯升华与沉积装置、气体回收装置、气体源、磁控溅射装置(401)和冷却装置；富勒烯升华与沉积装置设置于真空反应腔体内(101),用于在真空环境下使富勒烯被加热升华并在反应后沉积在沉积基底上；磁控溅射装置(401)设置在真空反应腔体(101)口部；气体源经该口部与真空反应腔体(101)连接；真空生成装置用于获得反应所需的真空环境；气体回收装置连接真空生成装置,用于将真空反应腔体(101)内余量的气体回收利用；冷却装置分别连接真空反应腔体(101)、真空生成装置、富勒烯升华与沉积装置,用于为上述装置降温。

• 单位
  华南理工大学