金刚石膜的氮掺杂行为

作者：李明吉; 吕宪义; 孙宝茹; 李春燕; 李博; 金曾孙

来源：新型炭材料, 2007, (02): 183-187.

• 金刚石膜
• EA-CVD方法
• 膜品质
• 氮杂质 Diamond film
• EA-CVD
• Film quality
• Nitrogen impurity state

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态。结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的“菜花状”,且非晶碳的含量增加,品质下降。金刚石膜中氮以Ns0、[N—V]0和[N—V]-1的形式存在,在较低氮气流量下[N—V]0和[N—V]-1的含量较多,Ns0氮杂质的质量分数在1.50×10-5～4.83×10-4之间变化。

• 单位
  超硬材料国家重点实验室; 吉林大学