光刻机运动台控制方法研究进展

作者：姜龙滨; 丁润泽; 丁晨阳^*; 杨晓峰^*; 徐云浪

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(09): 45-57.

• 光刻机
• 运动台
• 前馈控制
• 反馈控制

光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备，而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标，高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍，首先介绍了运动台的工作原理及基本控制架构，然后从前馈控制、反馈控制、冗余驱动/冗余测量等方面对运动台控制方法进行具体介绍，旨在为光刻机运动台控制方法的进一步发展提供参考。

• 单位
  复旦大学; 专用集成电路与系统国家重点实验室