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摘要
本发明属于微机电系统MEMS技术领域,具体涉及一种用于飞机供氧检测的MEMS压阻式表压压力传感器及其制备方法。硅衬底的上层硅即参杂层和梁膜复合结构层设有米字梁结构,米字梁的相邻梁端点圆弧形连接；硅衬底的下层硅即空腔层的中部为镂空孔,且镂空孔的外轮廓和米字梁的外轮廓结构相同,传感器由传统方形膜片改进为弧形膜片结构,不改变整体器件尺寸的条件下增大膜片的有效受力面积；同时通过刻蚀减薄切除,将传统平膜结构变为米子梁-薄膜复合结构,使得米字梁结构能增大膜片表面的局部刚度,有效控制膜片表面变形情况,使得在外加压力不变时,膜片的应变更小,保证本发明MEMS压阻式表压压力传感器的器件线性度的同时能进一步降低膜片厚度并集中应力。
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