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摘要
金属膜片电容传感器是高精度电容薄膜真空计的关键部分。为满足其国产化需求,以国内研发的某镍基合金膜片材料为基础,研究电容薄膜真空计用金属膜片电容传感器。首先,基于通用有限元分析软件,建立金属膜片电容传感器中感应膜片的计算模型;然后,采用非线性大挠度理论对不同预应力下的感应膜片变形进行计算,并与理论计算结果进行对比,对比结果表明,该计算模型具有较高精度;最后,分析预应力与感应膜片非线性误差关系,并对影响电容薄膜真空计测量特性的预应力、感应膜片与固定极板的初始极距等关键参数进行设计,以满足高精度真空测量的要求。
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