MOCVD生长ZnO纳米晶的形貌调控及生长机理研究

作者：杨景川; 范冰丰; 黄善津; 陈梓敏; 童存声; 裴艳丽; 江灏; 王钢

来源：第13届全国MOCVD学术会议.

本工作利用自制的量产型MOCVD设备进行了ZnO纳米晶的生长,并完成了从六角晶到四角晶的一个连续调控过程.从SEM照片中可以看出,通过通入DEZn源流量的调节可改变纳米晶的结晶形貌.其中还罕见地出现了四角形的结晶形态图1(d),但此处为低压且低温生长,ZnO只能是六角纤锌矿结构.

• 单位
  中山大学; 光电材料与技术国家重点实验室