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摘要
采用直流溅射法成功制备出了SnO2纳米颗粒,分析了SnO2纳米颗粒的形成机理,研究了不同溅射时间、不同衬底材质对SnO2纳米颗粒形成的影响规律。结果表明,溅射时间对SnO2纳米颗粒的尺寸有显著影响。随溅射时间延长,颗粒尺寸呈线性增长,从约20 nm(1 min)增长到约80 nm(10 min)。衬底材质则对SnO2纳米颗粒的形态及分布有显著影响。对比单晶硅、载玻片、喷金载玻片三种不同衬底材质,发现以单晶硅为衬底的纳米颗粒分布均匀,而以载玻片为衬底的纳米颗粒分布不均,并且随溅射时间延长,以载玻片为衬底的纳米颗粒发生团聚生长,颗粒粗大。载玻片衬底喷金处理后可使纳米颗粒的形貌及分布得到改善。
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单位北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室
