基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究

作者：彭荣; 杨振波; 王珺

来源：电子与封装, 2022, 22(04): 20-24.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403

• 薄膜封装
• 无机/有机叠层薄膜
• 水汽透过率
• 原子层沉积
• 旋涂

薄膜封装是有机电致发光器件柔性化亟需解决的关键技术难题。用NEA121树脂与Al2O3作为薄膜封装的有机膜与无机膜封装，封装薄膜的水氧阻隔性能通过钙膜测试。实验结果表明，3层堆叠Al2O3/NEA121封装后的水汽透过率(Water Vapor Transmission Rate, WVTR)达到2.1×10-4g/(m2·d)，封装薄膜的失效原因是水汽通过封装薄膜缺陷点渗透，不断腐蚀钙膜导致封装失效，而采用无机/有机堆叠封装的方法使薄膜的封装效果得到了改善。