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摘要
微系统已成为推动国民经济发展和保障国家安全的基础性、战略性、先导性支撑产业，军民领域电子信息系统多功能、高性能、小型化的发展趋势对微系统集成技术提出了更高要求。综述了硅基、玻璃基、陶瓷基、柔性基等多种微系统集成技术，介绍了各类集成技术的典型应用领域、存在的技术挑战以及解决方法，并对各类微系统的特点进行了对比与讨论。最后，对各类微系统集成技术进行了总结、对比，并展望了微系统集成技术的发展方向。
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单位北京航天控制仪器研究所; 西安电子科技大学
