钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响

作者：秦文峰; 韩孝强

来源：人工晶体学报, 2016, 45(05): 1353-1364.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2016.05.035

• Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜
• 脉冲激光沉积
• 底电极
• 介电常数

采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片La Al O3(001)、Mg O(002)上分别制备Ba0.6Sr0.4TiO3/La0.5Sr0.5Co O3(BST/LSCO)、Ba0.6Sr0.4TiO3/SrRu O3(BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响。研究发现,沉积在钙钛矿氧化物底电极上的BST薄膜表面平整,并都具有良好的外延生长。由于生长在LSCO底电极BST薄膜的压应力大于生长在SRO底电极的压应力,BST/LSCO异质结构的介电可调率为79.58%,而BST/SRO的介电可调率仅为68.26%,两种底电极上生长的BST薄膜都具有较低的漏电流。

• 单位
  中国民航飞行学院