几种含氟电子气体发展的思考

作者：牛学坤; 杨茂良; 周宪峰

来源：化学推进剂与高分子材料, 2020, 18(02): 1-27.

DOI：10.16572/j.issn1672-2191.202009038

• 含氟电子气体
• 三氟化氮
• 六氟化钨
• 四氟化碳
• 电子级六氟化硫

介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。

• 单位
  黎明化工研究设计院有限责任公司