应用于光通信行业的硅光技术，因其高集成、规模化、低成本等优势，近年来发展十分迅速。然而，由于硅材料本身不能发光，如何将光导入硅芯片始终是一大难题。目前较为高效且可行的方案是Ⅲ-Ⅴ族器件与硅光芯片的混合集成技术。本文介绍一种将Ⅲ-Ⅴ族激光器与硅芯片混合集成的倒装焊技术，除了解决光芯片之间光的低损耗耦合之外，通过高精度倒装焊实现了Ⅲ-Ⅴ族激光器与硅芯片的亚微米无源邦定。该技术具有工艺简单、精度优良、适合量产的特点，为混合集成技术的商业化打下坚实基础。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
