利用多层表面微结构提高DOE宽波段衍射效率

作者：马韬; 沈亦兵; 杨国光

来源：红外与激光工程, 2008, 37(01): 119-123.

DOI：10.3969/j.issn.1007-2276.2008.01.027

• 多层衍射光学元件
• 衍射效率
• 衍射光学
• 混合光学系统 Multilayer DOE
• Diffraction efficiency
• Diffractive optics
• Hybrid optical system

针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2-的整数倍,双层衍射光学元件在0.4～0.8μm可见光波段的理论衍射效率可以达到96%以上。利用双层衍射光学元件替代萤石透镜校正混合光学系统的二级光谱,设计并制作了一套长焦距物镜,并利用系统调制传递函数评价了多层衍射光学元件衍射效率,测试结果表明衍射效率在整个设计波段内以较高的数值平均分布。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室; 苏州大学; 浙江大学