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摘要
原子力显微镜(AFM)是一种表征样品表面的物理化学信息的精密仪器，AFM高精度扫描器是整个测量与表征系统的核心部件，其性能直接影响整个测量系统的性能，因此对原子力显微镜高精度扫描器的研究具有重要意义。介绍了调频原子力显微镜(FM-AFM)、AFM精密扫描平台以及扫描器的基本原理，提出了更为精确的扫描器设计模型，并将根据真空FM-AFM实际需要设计的扫描器搭载到自主研发的超高真空AFM系统中进行测试，结果表明了设计模型的精确性。随后，根据实验测试结果进行了相应的校准，提出了一种基于图像进行非线性校准的简易方法。最后，对云母样品表面形貌进行了测量，得到了云母台阶。
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