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摘要
本发明涉及一种扫描承片台装置及调整方法,该扫描承片台装置包括：第一支架单元,第二支架单元,承片台单元和支撑立架；其中,承片台单元对接于所述第一支架单元和所述第二支架单元之间；第一支架单元和第二支架单元分别与支撑立架紧固贴合；支撑立架呈镜像分布。本发明提供的一种扫描承片台装置及调整方法,采用层叠交错双轨式标准芯轴夹持PMMA承片板方式,兼顾了反射式扫描或透射式扫描支撑平台功能所需,尤其是透射式扫描超薄支撑平台的功能所需,结构紧凑简捷,调节方式快速便捷,实现一种对待测器件可兼顾进行反射式尤其是透射式扫描的承载方式,凸显了特别针对承载待测器件的一种承片台结构方式。
- 单位
